電源測量單元（SMU）

直流和時(shí)間相關(guān)測量可讓您對電流-電壓（IV）測量結(jié)果充滿信心

• 4 象限電源和測量功能可讓您在低至 fA（毫微微安培）的范圍內(nèi)進(jìn)行**的電流-電壓（IV）表征
• 測量范圍是 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V
• 提供點(diǎn)測量、掃描測量、脈沖和采樣測量功能
• 采樣測量間隔*低為 100 μs
• 脈寬*小值為 500 μs，使用 2 μs 分辨率
• 準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓（QS-CV）測量，具有泄露電流補(bǔ)償
   

  電源/測量單元（SMU）是 Agilent B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀的關(guān)鍵測量模塊。SMU 集成了電壓/電流源和測量功能，可在低至 fA / µV 分辨率上執(zhí)行**的直流電流-電壓（IV）測量。選件 ASU（自動(dòng)傳感和開關(guān)單元）可將低電流測量性能向下擴(kuò)展至次 fA 范圍，為您提供更高的測量性能。
  SMU 還可執(zhí)行準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓（QS-CV）測量。它不僅擁有低頻 CV 特征，同時(shí)還是表征柵極晶體管的表面態(tài)以及高頻 CV 的重要測量方法。Agilent B1500A 支持**的 QS-CV 測量和泄露電流補(bǔ)償。
  對于要求進(jìn)行精密電壓/電流測量的半導(dǎo)體、納米器件（例如碳納米管（CNT）和碳納米線（CNW））、有源/無源元件、材料以及任意電氣器件，SMU 結(jié)合使用 EasyEXPERT 軟件的分析和數(shù)據(jù)管理能力，非常適合對這些器件進(jìn)行表征。

  

  利用硬件時(shí)鐘精密計(jì)時(shí)控制功能可實(shí)現(xiàn)**的時(shí)間相關(guān)表征（例如脈沖和采樣測量）
  除了直流測量功能之外，Agilent B1500A SMU 還具備先進(jìn)的時(shí)間相關(guān)測量功能，包括脈勢測量和采樣測量。脈沖和采樣測量能夠找出并捕獲動(dòng)態(tài)特征。計(jì)時(shí)精度是時(shí)間相關(guān)測量的重要因素之一。Agilent B1500A SMU 利用硬件時(shí)鐘精密計(jì)時(shí)控制功能來執(zhí)行**的測量。*低采樣測量間隔低至 100 μs，脈寬*小值為 500 μs。
  Agilent B1500A 提供 3 種 SMU 以滿足您的測試需求。

  SMU 型號(hào)	主要特性和技術(shù)指標(biāo)
  B1510A 高功率電源/測量單元（HPSMU）	在 4 象限操作范圍內(nèi)，測量范圍高達(dá) 200 V / 1 A *低測量分辨率是 10 fA / 2 μV *低電源分辨率是 50 fA / 100 µV
  B1511A **率電源/測量單元（MPSMU）	在 4 象限操作范圍內(nèi)，測量范圍高達(dá) 100 V / 0.1 A *低測量分辨率是 10 fA / 0.5 μV *低電源分辨率是 50 fA / 25 µV
  B1511B 高分辨率電源/測量單元（HRSMU）	在 4 象限操作范圍內(nèi)，測量范圍高達(dá) 100 V / 0.1 A *低測量分辨率是 1 fA / 0.5 μV *低電源分辨率是 5 fA / 25 µV 選件 ASU（自動(dòng)傳感和開關(guān)單元）可將范圍向下擴(kuò)展至 1pA，測量分辨率為 0.1 fA